上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2023.07.05
付着ダスト調査に！落下塵カウンター 落下塵カウンターは浮遊塵ではなく、落下した塵を測定できる特殊測定機です。10μm以上の粗大粒子を分級し、カウントします。クリーンルーム内で製品に付着し、ゴミ・異物不良の原因となる粒子の多くは粗大粒子で、非常にゆっくり落下してきて堆積していくという特徴があります。落下塵カウンターは、試料収集板として4インチシリコンウエハ（直径100mm）を使用し、シリコンウエハ上に落下してきたダストを分級し、カウントする装置です。
関連情報
付着ダストの調査に！『落下塵カウンターDTSP10シリーズ』
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精密機器の製造現場で問題になるのは、空気中の浮遊塵だけではなく、落下して製品の表面に付着する「落下塵」。
様々な業界のクリーンルームでの製品作りの妨げになる落下塵を把握し、対策を打つために役立つのが『落下塵カウンター』です。
不良を引き起こす原因となる落下塵を分級し、粒子の大きさに合わせて色分け表示します。
【特長】
■落下塵を分級し、大きさに合わせて個数をカウント
■色分け表示で、落下塵の状況がすぐ分かる
■試料収集板は何度もリサイクル可能
■画像データと分級結果を保存でき、管理が簡単
【落下塵カウンター製品名】
■ DTSP10-03 (対応ウエハサイズ4インチ/2インチ)
簡易クリーンブース
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天板サイズに対し、出来るだけ大きなサイズのファンフィルターユニットを採用することで、従来の簡易ブースで問題となっていた乱流域の発生、換気回数の不足を解決するとともに、高いクリーンレベルを保つために必要な理想的な層流を実現します。
また、他にはない立ち作業用クリーンブースは別の作業台等を用意する必要がありません。
作業台面はパンチング板を使用し、気流制御を実現、適切な局所クリーン環境構築が可能です。
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