半導体製造装置内で発生するコンタミを低減する高真空・耐熱用グリース 『LOGENEST LAMBDA TKM-03』
高温環境下にて、優れた耐熱性能を示します。
また、真空環境下でも、優れた低アウトガス性能を示します。
実績ございます。
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高真空・耐熱グリースLOGENEST LAMBDA TKM-03
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