極高真空下(10-8Pa以下 )にてアウトガスが発生しにくいグリースです。
【特徴】
• あらゆるグリースの中で、最高レベルの長寿命性を有します
• 低発塵グリースとしても活用可能です
• 市販グリースで、最高の蒸気圧特性を持つフッ素グリースです
• 酸化安定性、耐薬品性、電気絶縁性にも優れています
• RoHS指令に対応製品
【用途】
極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など
• 半導体製造装置
• 有機EL・ソーラーパネル製造装置
• クリーンルーム内の製造装置
極高真空下で使用されるベアリング、ポンプ、バルブ摺動部位など
• 半導体製造装置
• 有機EL・ソーラーパネル製造装置
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