剥離帯電防止コーティングとは?3つの特徴を分かりやすく解説!
弊社の『剥離帯電防止コーティング』とは、特に液晶・プラズマディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ、及びLSI等の製造工程で発生する剥離帯電を抑制するものです。
たとえば液晶製造工程では、バキュームチャックプレートからガラス基板が離れる時に発生する剥離帯電を抑制し、静電気放電による障害を防止します。
このコーティングには、以下の三つの特徴が有ります。
●剥離帯電防止性能
●コンタミネーションレス
●高精度(平面度・平行度の確保)
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日本フッソ工業株式会社