![超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/09e/2000630392/IPROS07729076126381684380.png?w=140&h=140)
【その他の特長】
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や
アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広く使用可能
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や
アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広く使用可能
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。