日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』

最終更新日: 2021-07-16 10:46:06.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』
超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRV50/50SHシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■一次室の流路にフィルターを内蔵し、内部リーク発生を低減
■半導体プロセスガスラインで絶大な信頼を頂いているTORR調整器をベースに開発
■Heリークテストを含め、出荷検査を全数に実施
■一次低圧用の中流量機種として「STV30」よりも流量が求められる低圧配管や
 アウトレットパネル、液化ガスのシリンダーキャビネットなど広く使用可能
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意

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