![超高純度ガス用圧力調整器『S-TORRVA10シリーズ』 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/360/2000630420/IPROS16490594985457123825.png?w=140&h=140)
【その他の特長】
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給する
シリンダーキャビネットで使用可能
■接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減
■タイドダイヤフラム式を採用
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
■本体と継手の接続は溶接、ダイヤフラム部の外部シールにはメタルシール構造を採用
■高い外部シール性により、特に純度の高いガスでも安心して使用可能
■負圧制御に対応し、低蒸気圧の液化ガスを負圧供給する
シリンダーキャビネットで使用可能
■接ガス部からスプリングを排除し、パーティクル発生リスクを低減
■タイドダイヤフラム式を採用
■接ガス主要金属部に高耐食性のNi-Cr-Mo合金を使用した「SHシリーズ」をご用意
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。