日酸TANAKA株式会社

産業機器事業部

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』

最終更新日: 2021-07-16 10:45:38.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』
高純度ガス用圧力調整器『TORR-150シリーズ』 製品画像
【性能】
■入口側最高使用圧:2.0MPa
■出口側最高使用圧:0.6MPa
■最大流量:2、400L/min(nor)(P1=1.5MPa、P2=0.6MPa、N2 GAS)
■使用温度:-5~40℃
■重量:3.7kg
■出入口ポート口径:1/2"
■外部リーク量:1.3×10^-8Pa・m3/sec以下

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