日精株式会社

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枚葉式ウェット処理装置(研究開発・少量試作用)※デモ可

最終更新日: 2018-08-07 16:59:16.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高圧ジェットを使用した枚葉(スピンナー)型リフトオフ装置
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能

関連情報

試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像
【仕様】
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能

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