装 置 仕 様
【洗 浄 対 象】
~12 インチカセット(※対象サイズはご相談ください)
【槽構成】
ローダー(水中も可)→処理槽(最大9槽)→アンローダー
※乾燥は上記乾燥方式により選定
【洗 浄 対 象】
~12 インチカセット(※対象サイズはご相談ください)
【槽構成】
ローダー(水中も可)→処理槽(最大9槽)→アンローダー
※乾燥は上記乾燥方式により選定
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日精株式会社 本社