■仕様
基板寸法 5~100 mm x 5~235 mm
チップサイズ □1~20 mm
搭載精度 XYZ ±1μm(3σ)
基板寸法 5~100 mm x 5~235 mm
チップサイズ □1~20 mm
搭載精度 XYZ ±1μm(3σ)
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