"【特長】
- インラインセットアップにおいて最小の設置スペースとなる高速AXIシステム
- マイクロフォーカスX線発生器搭載(密閉型 / メンテナンスフリー)
- 最小解像度 <1μm
- リニアドライブによるマルチ制御のモーションシステム
- デジタルCMOSフラットパネルディテクター
- 自動グレースケール&倍率キャリブレーション機能
- 全製品のトレーサビリティー管理を可能とするMESやSECS/GEMインターフェース対応
追加オプション
- 片側からのロード / アンロード可能な構成
- シリアルナンバーの記録や製品タイプ選別に使用可能なバーコードスキャナー
- 自動バーコードリーダースキャンステーション(x-yガントリー構造)
- 放射線量低減フィルター
モデル
XS2.5 透過 (2D) + SFT + Off-axis (2.5D)
XS3 透過 (2D) + SFT + Off-axis (2.5D) + 3D"
- インラインセットアップにおいて最小の設置スペースとなる高速AXIシステム
- マイクロフォーカスX線発生器搭載(密閉型 / メンテナンスフリー)
- 最小解像度 <1μm
- リニアドライブによるマルチ制御のモーションシステム
- デジタルCMOSフラットパネルディテクター
- 自動グレースケール&倍率キャリブレーション機能
- 全製品のトレーサビリティー管理を可能とするMESやSECS/GEMインターフェース対応
追加オプション
- 片側からのロード / アンロード可能な構成
- シリアルナンバーの記録や製品タイプ選別に使用可能なバーコードスキャナー
- 自動バーコードリーダースキャンステーション(x-yガントリー構造)
- 放射線量低減フィルター
モデル
XS2.5 透過 (2D) + SFT + Off-axis (2.5D)
XS3 透過 (2D) + SFT + Off-axis (2.5D) + 3D"