日精株式会社

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2020-12-10 00:00:00.0
【（株）高田工業所】セミコンバーチャル2020出展のご案内

セミナー・イベント   掲載開始日: 2020-12-10 00:00:00.0

この度、弊社：日精株式会社が代理店を務めております、
株式会社高田工業所様がセミコンバーチャル2020に出展いたします。

新製品を含め展示しておりますので、ぜひブースへのお立ち寄りをお願い致します！

開催日時 2020年12月14日（月） ～ 2020年12月17日（木）
参加費 無料

関連資料

関連製品情報

【新型超音波切断装置】超音波カッティング装置『CSX501』
【新型超音波切断装置】超音波カッティング装置『CSX501』 製品画像
高速切断を実現可能とする両端支持機構を備えた超音波スピンドルを搭載し、生産性向上や新たな機能を追加した超音波カッティング装置

当社は、超音波カッティング装置『CSX501』を取り扱っております。 『CSX501』による超音波アシスト切断は、"ブレードの回転による力"に 超音波を加え、"ブレードを外周方向に振動"させながら切断する技術です。 この技術により、高品質切断を維持しつつ、スループット向上や ランニングコスト低減、歩留まり向上の達成を可能としました。 さらに、装置監視機能付加により遠隔サポート支援が可能となり、不測の トラブルからの復旧時間の短縮に寄与致します。また、各種オプション機能を 追加搭載することで、ブレード刃先形状のコントロール、切断バリの低減 などにも貢献致します。 ※ご希望のワークを切断する評価も実施しておりますので、お気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDF資料をご覧ください。
試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
試作開発 枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発や、少量生産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 手狭なスペースでも設置可能なコンパクト設計（従来機から約40％コンパクト化） レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。
量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
量産向け枚葉式自動レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像
昇温した有機薬液による化学反応と、高圧ジェットの 物理的アシスト利用した剥離性能の高い 枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減 ■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上) ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
ダイシングリング洗浄装置『株式会社 高田工業所製』
ダイシングリング洗浄装置『株式会社 高田工業所製』 製品画像
ジェット洗浄タイプ（非接触式）と、スクラブ洗浄タイプ（接触式）の2種類の仕様から選べるダイシングリング（フレーム）洗浄装置

今まで手作業での洗浄や、業者へ洗浄を依頼していたりとランニングコストや作業面でお困りではありませんか？ 本装置はダイシングフレームを自動搬送で洗浄処理致します。 　・ジェット洗浄タイプ（ランニングコスト低減に特化したタイプ） 　・スクラブ洗浄タイプ（洗浄力に特化したタイプ） 上記の2種類をラインナップしております。 お客様でご使用のフレーム汚れに合った仕様を選んで頂くことで品質や、コストメリットをご提案致します。 また、テープ（シート）付きのダイシングフレームも処理することができ、装置内でテープ剥がし、洗浄することも可能です。（※オプション）
研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』
研究開発向け枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置『高田工業所製』 製品画像
昇温した有機薬液による化学反応と高圧ジェットの物理的アシスト利用した剥離性能の高い枚葉式レジスト剥離・リフトオフ装置【テスト可】

通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した研究開発向けメタルリフトオフ処理装置。 コンパクトなTWPmから、搬送ユニットを省いてさらに小型化とコストメリットを追求したモデル。 レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。 ※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。 【特長】 ■省フットプリント　60%削減（当社比TWPmと比較） ■1チャンバー完結 ■薬液の裏面廻り込み防止（特許） ■液・ミストの飛散、再付着防止 ※詳しくはお問合せいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
【ダイシング】イオンミリング前処理装置『高田工業所製』
【ダイシング】イオンミリング前処理装置『高田工業所製』 製品画像
断面観察試料作製の効率化を実現！イオンミリング前処理用の超音波カッティング装置、研磨機からの置き換えも可能　＊デモテスト可能

「超音波カッティング技術」の切断面研磨効果（ ＰｏｌｉｓｈＣｕｔＴＭ ）を利用して「切る」「磨く」を同時に行うことができる断面観察用試料作製に特化した装置です。 特に多くの断面観察試料作製を行われているような場面で多く、ご使用いただいております。 お客様のサンプルを実際に切断してご評価いただけるデモ環境も準備しておりますので、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■切断面が綺麗 ■狙った位置を正確に切断する ■X線画像とモニター画像を重ねて見えない対象物を切断 ■断面観察試料作製をスキルレスで行える ■イオンミリングの前処理装置として使用してミリング時間の短縮可能 ※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
断面観察試料作製用　超音波カッティング装置『高田工業所製』
断面観察試料作製用　超音波カッティング装置『高田工業所製』 製品画像
断面観察試料作製の効率化を実現する。断面研磨機に代わる高効率な 『超音波カッティング装置　CSX-100Lab』

CSX-100Labは、当社が開発した「超音波カッティング技術」の切断面研磨効果（ PolishCutTM )を利用して「切る」「磨く」を同時に行うことができる断面観察用試料作製に特化した装置です。 特徴として、１）切断面が綺麗、２）狙った位置を正確に切断する、３）X線画像とモニター画像を重ねて見えない対象物を切断、４）断面観察試料作製をスキルレスで行える、５）イオンミリングの前処理装置として使用してミリング時間の短縮などがあります。特に多くの断面観察試料作製を行われているような場面で多く、ご使用いただいております。 お客様のサンプルを実際に切断してご評価いただけるデモ環境も準備しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

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