通常ストレートノズルと、高圧ジェットノズルを併用した量産向けレジスト剥離・メタルリフトオフ処理装置。
レジスト剥離・リフトオフ、リンス、乾燥までをひとつのチャンバーで行う、1チャンバー完結タイプはハイスループットだけでなく、省フットプリント化にも貢献致します。また、使用した薬液を分離回収し再利用することも可能で、ランニングコストの削減にも寄与致します。
※レジスト剥離・リフトオフだけでなく、有機洗浄装置としても転用が可能です。
【特長】
■高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構
■多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、フレキシビリテイの 向上とランニングコストの削減
■枚葉化による品質・歩留り向上( クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上)
※詳しくはお問い合わせいただくか、PDFをダウンロードしてご覧ください。
基本情報
【仕様】
■対応ワークサイズは、2~8インチ(※角基板、12インチはお問合せください)
■スカラロボットによるワークの自動搬送
■薬液昇温機能有り
■自動消火システム、防爆ガラス等安全仕様有り
■チャンバー内部の自動クリーニング機能
■ノズル各種仕様変更可能(※詳しくはお問合せください)
■裏面回り込み防止機能
■最大4チャンバーまで増設可能
■上位通信対応可能
価格帯 | 5000万円 ~ 1億円 |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TWPシリーズ |
用途/実績例 | 光デバイス(LED等)、SAWデバイス、パワーデバイス、高周波デバイス、MEMS等 |
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