クリーンルーム対応！優れた始動安定性と遠隔操作を可能にしたエアーレギュレータ 特殊仕様対応可能！
エアーレギュレータ「超精密減圧弁RSシリーズ」は、圧力制御方式にローリングダイヤフラムとメジャリングカプセルを利用したサーボバランス方式を用いておりますので、精密な圧力調整が可能なクリーンルーム対応超精密レギュレータです。部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しておりますので、発塵が極めて少なくなっております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
【特長】
○クリーン仕様
→部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しており、発塵が極めて少ない。
○マニホールド対応
→マニホールド配管が可能。
○排気ポートを設備
→リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続可能なため、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気可能。
○高精度
→感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能。
○優れた特性
→非常に優れたリリーフ特性、圧力特性、流量特性。
○長期圧力安定性
→一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しない。。
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
○クリーン仕様
→部品はステンレス、フッ素ゴム、その他の部品はすべて無電解Niメッキ処理を施しており、発塵が極めて少ない。
○マニホールド対応
→マニホールド配管が可能。
○排気ポートを設備
→リリーフ孔、ブリード孔に排気用の配管を接続可能なため、リリーフエア、ブリードエアをクリーンルーム外に排気可能。
○高精度
→感度0.1%F.S.、繰り返し再現性±0.1%F.S.という高精度の圧力制御が可能。
○優れた特性
→非常に優れたリリーフ特性、圧力特性、流量特性。
○長期圧力安定性
→一度設定した圧力は、長期間にわたってほとんど変動しない。。
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
| 価格情報 | お問い合わせください。 |
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お問い合わせください
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| 用途／実績例 |
【用途】 ○バッファー ○バランサー ○押し圧制御 ○圧延装置 ○吐出制御 ○圧力タンク内圧制御 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。 |
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