日本ピストンリング株式会社

スラリー液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ

最終更新日: 2021-04-08 10:02:02.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

CMP用酸化膜スラリー、メタル用スラリーに対応 金属汚染の心配なし!接液部以外も金属部品を一切使用しておりません。
【特長】
◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。
◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。
◆ 接液部にOリングを使用していない。
◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。
◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。
◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。
◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。
◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の3機種。

関連情報

スラリー液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ
スラリー液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ 製品画像
【特長】
◆ 独自にデザインされたラウンドベローズによりスラリーのせん断を減少。
◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。
◆ 接液部にOリングを使用していない。
◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。
◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。
◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。
◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。
◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の3機種。

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