【特長】
■薬品の移送
・優れた流量
・高い圧力にも対応
■ウエハプロセス
・コンパクトな設計
・市場の要求を満たす製品
■スラリー
・スラリーの影響を低減
・清掃が容易
■精密な流体供給
・高精度
・再現性
■高温仕様
・高温でも使用可能
・適正な安全性
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■薬品の移送
・優れた流量
・高い圧力にも対応
■ウエハプロセス
・コンパクトな設計
・市場の要求を満たす製品
■スラリー
・スラリーの影響を低減
・清掃が容易
■精密な流体供給
・高精度
・再現性
■高温仕様
・高温でも使用可能
・適正な安全性
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