日本ピストンリング株式会社

薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ

最終更新日: 2021-04-01 16:45:52.0
薬液用 フッ素樹脂製 ベローズポンプ

薬液透過対応型
(TMA・TMAH・HCl・HF等)

【特長】

◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。

◆ 接液部にOリングを使用していない。

◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。

◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。

◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。

◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。

◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の3機種。

基本情報

薬液透過対応型
(TMA・TMAH・HCl・HF等)

【特長】

◆ 接液部以外にも金属部品を一切使用していないため金属汚染の心配がない。

◆ 接液部にOリングを使用していない。

◆ 完全自吸式でクリーンドライエアー、または窒素の接続のみで即稼動。

◆ ポンプ制御用のコントロールユニットが不要。

◆ ストローク検知機能、リークセンサー対応機構をオプションで選択可。

◆ 小型かつ軽量で取り扱いが非常に容易。

◆ 吐出流量は 15L/min、30L/min、60L/min の3機種。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 ASTIPURE2 A2CH
用途/実績例 【用途】
・半導体プロセスに使用される高純度薬液の移送。
・循環、濾過、薬液供給システムにおける流量制御。
・クリーンルーム内での安全な薬液移送。
・腐食ガスなど悪環境下での薬品処理。
・化学薬液の注入、サンプリング等。
・医薬品の定量注入。
・移送液量の可変制御。

ラインナップ

型番 概要
A2CH A2CH1 F8, A2CH2 F12, A2CH3 F16

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