装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用した事例の紹介！
ガスや空気に含まれている水分を測定する『露点計』を導入し、半導体製造装置
（グローブBOX）の露点測定を行った事例をご紹介します。
半導体製造過程で使用されるガスは高純度が求められる場合が多く、ガス中の
水分含有は製造品の品質に大きく影響を及ぼします。
製品製造装置など、密閉されている箇所に供給するガスや密閉されている
内部雰囲気の露点温度を測定するため、センサーを設置して常時監視します。
また、他の製造品でも広く使用されているグローブBOXなどの装置においても、
装置内雰囲気や装置に供給するガスの露点測定に使用します。
【事例内容】
■導入品：露点計
■導入目的：半導体製造装置（グローブBOX）の露点測定
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【露点計特長】
■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定
■品質管理の基準として使用
■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ
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■ガスおよびドライエア中の微量な水分を測定
■品質管理の基準として使用
■「防爆型」「鏡面冷却型」「オンライン型」「ポータブル型」をラインアップ
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詳細情報
露点計
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【導入事例】半導体製造装置（グローブBOX）の露点測定
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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日本冶金化学工業株式会社
