日本冶金化学工業株式会社

露点計の悩みを解決 露点が下がらない

最終更新日: 2019-08-23 10:26:08.0

"露点が下がらない"原因と解決策をご紹介します

露点が下がらないという悩みの解決策をご紹介します。

高純度窒素を測定するためポータブル露点計を使用。ボンベにレギュレータ
等を設置、露点計にサンプリングチューブを接続して露点を測定しました。

2時間程度流すも-60℃くらいまでしか下がらず、他のボンベを測定しても、
状況は変わらず。

原因は、サンプル配管系統のパージ不足。流量を増やすか、パージ時間を
延長する必要があります。

また、露点計1次側の周辺部品による影響もありました。
金属配管やPTFEなど、水分が透過しない、または極力透過し難い材質の
配管をご使用下さい。

【課題・現象】
■チャンバーを開いた状態にしたところ、露点は-40℃くらいまで上昇し、
 じりじりとマイナスに動いていくが、なかなか応答しない
■2時間程度流すも-60℃くらいまでしか下がらない
■ボンベは空になり、すぐに他のボンベを測定しても状況は変わらず

※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【原因と解決策】
■サンプル配管系統のパージ不足
・露点が上がってしまう場合は、パージ量が足りないため、
 流量を増やすか、パージ時間を延長する

■露点計1次側の周辺部品による影響
・金属配管やPTFE(テフロン)など、水分が透過しない、
 または極力透過し難い材質の配管を使用する

※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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