"露点が下がらない"原因と解決策をご紹介します
露点が下がらないという悩みの解決策をご紹介します。
高純度窒素を測定するためポータブル露点計を使用。ボンベにレギュレータ
等を設置、露点計にサンプリングチューブを接続して露点を測定しました。
2時間程度流すも－60℃くらいまでしか下がらず、他のボンベを測定しても、
状況は変わらず。
原因は、サンプル配管系統のパージ不足。流量を増やすか、パージ時間を
延長する必要があります。
また、露点計1次側の周辺部品による影響もありました。
金属配管やPTFEなど、水分が透過しない、または極力透過し難い材質の
配管をご使用下さい。
【課題・現象】
■チャンバーを開いた状態にしたところ、露点は－40℃くらいまで上昇し、
じりじりとマイナスに動いていくが、なかなか応答しない
■2時間程度流すも－60℃くらいまでしか下がらない
■ボンベは空になり、すぐに他のボンベを測定しても状況は変わらず
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【原因と解決策】
■サンプル配管系統のパージ不足
・露点が上がってしまう場合は、パージ量が足りないため、
流量を増やすか、パージ時間を延長する
■露点計１次側の周辺部品による影響
・金属配管やPTFE（テフロン）など、水分が透過しない、
または極力透過し難い材質の配管を使用する
※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■サンプル配管系統のパージ不足
・露点が上がってしまう場合は、パージ量が足りないため、
流量を増やすか、パージ時間を延長する
■露点計１次側の周辺部品による影響
・金属配管やPTFE（テフロン）など、水分が透過しない、
または極力透過し難い材質の配管を使用する
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