上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
噴霧熱分解装置、加熱装置、計測装置等の開発・設計・製造・販売などを行っているオーエヌ総合電機株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。
発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。
使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。
クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。
「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。
発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での排気が可能。
使用不可となった薬液（フッ酸、 塩化鉄）と、有機溶剤（アセトン）は付設の専用タンクへ一括排出します。
クリーンルームでも使用できるドラフト構造です。
関連情報
半導体関連装置 「ウェット式エッチング装置」
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【概要】
○処理工程プログラムは、10パターンを任意で設定可能
○複雑な処理工程も、多彩なワークで対応
○自動消火システムと炎検知センサーにより、万が一の発火にも、
CO2ガス噴射ですばやい消火が可能
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
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オーエヌ総合電機株式会社
