上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
噴霧熱分解装置、加熱装置、計測装置等の開発・設計・製造・販売などを行っているオーエヌ総合電機株式会社の製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください】
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。
お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。
お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。
関連情報
半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」
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【標準仕様】
○ユ－ティリティ 純水1/4RC 圧縮空気1/4RC 排水1/4RC
○外形寸法 W800×H1500×D500
○電源 AC100V 10A
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
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オーエヌ総合電機株式会社
