最終更新日:
2023-07-03 16:33:54.0
コーティングマシンに連動したパーティクル管理システム構築へ！
当資料は、リアルタイム計測パーティクルカウンターについて紹介しています。
蒸着業界での現在までのパーティクルカウンター（OPC）の概念をはじめ、
外観品質改善のキーや、近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさ、
薄膜コーティングにおいて管理すべきコンタミのサイズなどを掲載。
パーティクルカウンターをご利用の際に活用ください。
【掲載内容（抜粋）】
■蒸着業界での現在までのパーティクルカウンター（OPC）の概念
■外観品質改善のキー
■外観改善には…
■実測例
■近年光学膜に要求される欠陥サイズの大きさ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の掲載内容（抜粋）】
■薄膜膜中のコンタミサイズの表面への影響
■要求レベルから算出した基板上のコンタミサイズ
■薄膜コーティングにおいて管理すべきコンタミのサイズ
■管理すべきコンタミの粒径サイズ
■大粒径のコンタミの振る舞いは？
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株式会社パーティクルプラス
