最終更新日:
2020/10/01
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ALDの量産に必要な全てがこれで分かる！装置・原料・受託加工の各分野におけるリーディングカンパニー各社がとっておきの情報を披露！
ALD （Atomic Layer Deposition：原子層堆積）は、PVD・CVD等の成膜技術と比較し、高アスペクト比表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性が高いなどの特長があります。
今回、ALDを量産向けにご検討のお客様へ、装置・原料・受託加工各社がそれぞれの切り口から、ALD技術の概要や量産工程に必要な注意点などをご説明いたします。
【参画各社紹介】
〇PICOSUN JAPAN株式会社：ALDの技術開発において40年以上の経験を持つALD装置メーカー（本社フィンランドPicosun Oy）。国内外で多数のR&D・量産装置導入実績あり。
〇株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン：住友精密工業とCollins Aerospace社との合弁会社。MEMSファンドリとしてALD成膜他種々のSi加工を受託。
〇株式会社トリケミカル研究所：東証一部上場の化学メーカー。ALDプリカーサ等半導体プロセス向け各種化学品の開発・製造・販売を行っている。
お問い合わせ
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PICOSUN JAPAN株式会社
