最終更新日:
2021/06/03
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ALDについて何も分からない人のためのビギナー講座！原理・材料・装置・プロセスから必要な付帯設備関係まで、基本情報総ざらい！
今、先進的な成膜技術として話題のALD （Atomic Layer Deposition：原子層堆積）は、PVD・CVD等の成膜技術と比較し、高アスペクト比表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性等の膜質が高く、比較的低温での成膜が可能といった特長があります。
今回、ALDに興味はあるけれど、どのように検討を始めたらいいか分からないというお客様へ、装置・原料・周辺環境といった視点から、ALD技術の概要や導入に必要な注意点などをご説明いたします。
【参画各社紹介】
PICOSUN JAPAN(株)：ALDの技術開発において40年以上の経験を持つ、ALD装置専業メーカー。ALD法発明者Tuomo Suntola博士が在籍。
(株)ジャパンアドバンストケミカルズ：ALD材料メーカー。少量多品種対応、受託成膜試験･プロセス開発や評価・コンサルティングに強み。
(株)巴商会：産業ガスの専門商社として、ALDプロセス導入における周辺環境（除害装置･センサ他安全対策･配管施工等）の整備を提供。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
PICOSUN JAPAN株式会社
