標準のクラスター構成は、ALDモジュール2基、予熱および冷却チャンバ、ウエハハンドリングロボット、
およびFOUPとの間でウエハをロード/アンロードするEFEMステーションです。
既存の製造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。
オペレーティングシステムソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなHMI一つを介してクラスター全体を制御し、
SECS-II / GEMプロトコルを介してシステムとお客様のファクトリーオートメーション間のスムーズな接続を保証します。
SEMI S2 / S8認定は、システムが業界の厳しい規格と互換性があることを保証します。
完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、
優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた高品質のALD膜を作成します。
コンパクトで人間工学に基づいた設計により、メンテナンスを簡単かつ迅速に行えるため、
システムのダウンタイムを最小限に抑え、市場での所有コストを最小限に抑えることが可能。
およびFOUPとの間でウエハをロード/アンロードするEFEMステーションです。
既存の製造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。
オペレーティングシステムソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなHMI一つを介してクラスター全体を制御し、
SECS-II / GEMプロトコルを介してシステムとお客様のファクトリーオートメーション間のスムーズな接続を保証します。
SEMI S2 / S8認定は、システムが業界の厳しい規格と互換性があることを保証します。
完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、
優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた高品質のALD膜を作成します。
コンパクトで人間工学に基づいた設計により、メンテナンスを簡単かつ迅速に行えるため、
システムのダウンタイムを最小限に抑え、市場での所有コストを最小限に抑えることが可能。
