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プラズマエッチング耐食バリア、PicoArmourの発表

2021/06/03  

ピコサンは、プラズマエッチングに対するALD耐食保護コーティングソリューション、PicoArmourの特許権を申請中であると発表した。PicoArmourの使用により、今日一般的に使用されているコーティング比較して、より効率的にプラズマバリアを実現できる。
ウエハ製造プロセスには、プラズマエッチングが必要ないくつかのステップが含まれる。プラズマエッチングによる装置の損傷を軽減するため、PVDや溶…

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【6/25開催】Webセミナー「ALD・はじめの一歩」のお知らせ
今話題の先端成膜技術・ALD（原子層堆積）。
ALDに興味はあるけれど、どのように検討を始めたらいいか分からないという方も多いのではないでしょうか。
今回、装置・原料・及び除害装置などの周辺環境といった視点から、ALD技術の概要や導入に必要な注意点などをご説明するWebセミナーを開催いたします。…
2021/05/26セミナー・イベント
画期的な300mmウエハ用バッチALD生産装置・PICOSUN Sprinter
ALD装置メーカーPicosun社は、300mmウエハ用の完全自動量産向け新型ALD生産モジュール「Sprinter」を発売した。半導体（メモリ、トランジスタ、コンデンサ等）、ディスプレイ、IoT用通信機器等の用途向けに、バリア、high-k等の高性能ALD膜をSprinterで成膜可能。Sprin…
2020/12/03製品ニュース
アプリケーション情報：最先端デバイス信頼性向上のためのALD（原子層堆積）超薄膜封止（エレクトロニクス実装技術Vol.36 No.8掲載記事）
（緒言より）最先端のエレクトロニクスデバイスでは劣化しやすい材料が使われていることが多く、使用環境に応じて湿気や酸素・水素・硫化物ガス等に対するバリア膜が必要になる。このアプリケーションにおいてALD（Atomic Layer Deposition、原子層堆積）は膜質が緻密なためバリア性が高く、かつ…
2020/12/03その他・お知らせ
【2021/2/5開催】Webセミナー『研究開発・材料探索のための成膜技術』：R&D向け各種先端成膜技術をリーディングカンパニー三社が丁寧に解説。無料でどこからでも参加でき、最先端の情報を入手できます！
先端分野の研究開発向けには成膜の先端技術を適用する必要がありますが、どの手法が適切か分からない場合も多いのではないでしょうか。
今回PICOSUN JAPANは、先端分野の薄膜研究開発を行う方々を対象にWebセミナーを企画しました。トップクラスのメーカー三社が、様々な成膜方法の特徴、適した用途、具…
2020/11/26セミナー・イベント
ピコサンのALD装置を次世代パワーエレクトロニクスに適用
ピコサン社（フィンランド）は、欧米及びアジアのパワーエレクトロニクス顧客へクラスターALDシステムを販売し、市場での地位を強化していると発表した。パワーエレクトロニクスは急成長している重要な市場であり、ピコサンのALDにより、この分野における品質・スループットなどの課題へのソリューションを提供してい…
2020/10/08企業ニュース
【11/10開催】Webセミナー『ALD量産完全マスター講座』：ALDの量産に必要な全てがこれで分かる！装置・原料・受託加工の各分野におけるリーディングカンパニー各社がとっておきの情報を披露！お気軽にご参加ください！
ALD技術のパイオニアであるピコサンは、ALDを量産向けにご検討のお客様へ、装置・原料（プリカーサ）・受託加工（ファウンドリ）各社がそれぞれの切り口から、ALD技術の概要や量産展開に有用な知識をご説明するWebセミナーを企画いたしました。
withコロナ時代の新しい情報収集手段として是非ご活躍くだ…
2020/09/29セミナー・イベント
【9/11開催】ALD（原子層堆積）Webセミナー：各種展示会が中止になり、対面ミーティングも設定しづらい中でも新しい技術検討ご希望のお客様へ朗報！ ALDの老舗PICOSUN JAPANが、ALDに関するウェビナーを開催。 お気軽にご参加ください！
〇開催方法：Microsoft Teamsによるオンラインセミナー
〇受講料：無料
〇講師：八尋大輔（PICOSUN JAPAN株式会社・セールスマネージャー）
〇内容
1）PICOSUN会社紹介
2）ALDの特徴・原理：成膜プロセス、GPC（成膜レート）、サイクル時間など
3）ALD膜…
2020/09/03セミナー・イベント
【9/14開催】ALD（原子層堆積）Webセミナー：各種展示会が中止になり、対面ミーティングも設定しづらい中でも新しい技術検討ご希望のお客様へ朗報！ ALDの老舗PICOSUN JAPANが、ALDに関するウェビナーを開催。 お気軽にご参加ください！
〇開催方法：Microsoft Teamsによるオンラインセミナー
〇受講料：無料
〇講師：八尋大輔（PICOSUN JAPAN株式会社・セールスマネージャー）
〇内容
1）PICOSUN会社紹介
2）ALDの特徴・原理：成膜プロセス、GPC（成膜レート）、サイクル時間など
3）ALD膜…
2020/09/03セミナー・イベント
【9/18開催】ALD（原子層堆積）Webセミナー：各種展示会が中止になり、対面ミーティングも設定しづらい中でも新しい技術検討ご希望のお客様へ朗報！ ALDの老舗PICOSUN JAPANが、ALDに関するウェビナーを開催。 お気軽にご参加ください！
〇開催方法：Microsoft Teamsによるオンラインセミナー
〇受講料：無料
〇講師：八尋大輔（PICOSUN JAPAN株式会社・セールスマネージャー）
〇内容
1）PICOSUN会社紹介
2）ALDの特徴・原理：成膜プロセス、GPC（成膜レート）、サイクル時間など
3）ALD膜…
2020/09/03セミナー・イベント
【9/25開催】ALD（原子層堆積）Webセミナー：各種展示会が中止になり、対面ミーティングも設定しづらい中でも新しい技術検討ご希望のお客様へ朗報！ ALDの老舗PICOSUN JAPANが、ALDに関するウェビナーを開催。 お気軽にご参加ください！
〇開催方法：Microsoft Teamsによるオンラインセミナー
〇受講料：無料
〇講師：八尋大輔（PICOSUN JAPAN株式会社・セールスマネージャー）
〇内容
1）PICOSUN会社紹介
2）ALDの特徴・原理：成膜プロセス、GPC（成膜レート）、サイクル時間など
3）ALD膜…
2020/09/03セミナー・イベント
【9/28開催】ALD（原子層堆積）Webセミナー：各種展示会が中止になり、対面ミーティングも設定しづらい中でも新しい技術検討ご希望のお客様へ朗報！ ALDの老舗PICOSUN JAPANが、ALDに関するウェビナーを開催。 お気軽にご参加ください！
〇開催方法：Microsoft Teamsによるオンラインセミナー
〇受講料：無料
〇講師：八尋大輔（PICOSUN JAPAN株式会社・セールスマネージャー）
〇内容
1）PICOSUN会社紹介
2）ALDの特徴・原理：成膜プロセス、GPC（成膜レート）、サイクル時間など
3）ALD膜…
2020/09/03セミナー・イベント
300 mmウエハ市場への販売により、ピコサンは2020年第2四半期に新記録を達成
ALD装置およびソリューションの大手サプライヤーであるピコサングループは、2020年第2四半期の記録的な売上を報告した。特に300 mm量産向けALDテクノロジーが市場から好感され、2020年第2四半期の総受注量は11,6百万ユーロ、売上高は9,8百万ユーロだった。今年上半期の受注量は22.3百万ユ…
2020/08/13企業ニュース
アプリケーション情報：インプラント型電子メディカルデバイスへのALD法による生体適合膜封止（エレクトロニクス実装技術Vol.35 No.2掲載記事）
（緒言より）エレクトロニクス技術の発展に伴い、電子デバイスを体内に埋め込むことで、新しい形の医療を実現しようというトレンドが近年ますます盛んになっている。無線通信技術やワイヤレス充電技術の進展著しい今日、体内で半永久的に駆動する電子デバイスは、もはや夢物語ではない。そこで問題になるのが、いかにしてデ…
2020/08/13その他・お知らせ
アプリケーション情報：ALD超薄膜成膜法による資源利用の効率化（エレクトロニクス実装技術Vol.35 No.5掲載記事）
（緒言より）環境保全が声高に叫ばれる昨今、現代科学技術の粋を結集した半導体製造においても「環境」を無視してものづくりをすることはできない。業界の性質上、危険性のある化学薬品等を使用しなくてはならないことは昔から変わらないものの、それが外部に出ていかないようにすること、また使用量を極力低減することがよ…
2020/08/13その他・お知らせ
アプリケーション情報：ALD超薄膜による絶縁コーティング及びウィスカ防止への展開（エレクトロニクス実装技術Vol.35 No.7掲載記事）
（緒言より）半導体製造工程は実装工程とは異なると一般的に考えられている。例えば要求されるクリーン度、品質、歩留まりは確かに別世界であり、そのため使われる装置や薬品なども異なるスペックのものが必要となる。しかし回路の微細化・部品の小型化が進展し、また一方ではデバイスのモジュール化が進むにつれ、一部では…
2020/08/13その他・お知らせ
アプリケーション情報：ALDによるTSV・TGV内部成膜ソリューション（エレクトロニクス実装技術Vol.36 No.8掲載記事）
（緒言より）「半導体の集積密度は2年ごとに2倍になる」という、いわゆるムーアの法則は、およそ半世紀にわたってエレクトロニクス業界の技術開発を考える上での指針となってきた。しかし、プロセスの微細化による密度向上という方向性では、この法則には物理的な限界があることが衆目の一致するところであり、そのためチ…
2020/08/13その他・お知らせ
ピコサンの医療用ALDソリューションが優れた気密封止性を保証
ピコサングループは、神経補綴および生体電子医学用金属電極のALD有機二層封止における優れた結果と、水性媒体中の腐食性イオンの拡散に対するALDナノラミネートの優れた気密バリア性能を報告した。これは、インプラント等金属や微細電子部品を体液による腐食から保護する必要がある医療ALDアプリケーションにとっ…
2020/07/02企業ニュース
ピコサングループの力強い成長は2020年も継続
ALD薄膜技術サプライヤのピコサングループは、戦略的に工業向け顧客へ集中した結果として、2019年度に力強く成長したと報告した。
2018年10月1日から2019年12月31日までの会計年度中、ピコサングループの受注は35,9百万ユーロ、売上高は34.2百万ユーロ、EBITは377千ユーロだった。…
2020/06/10企業ニュース
新規フォトニクスアプリケーションにピコサンがALDテクノロジーを提供
ピコサングループは、フォトニクスアプリケーションに対する複数の新規販売を報告した。 ALD市場も新型コロナウイルス流行の影響を受けているものの、フォトニクスをはじめとする産業の新しい分野開拓により依然として需要は底堅い。
　感染防止対策のため、多くの企業が遠隔地での作業、ビデオ会議、その他のテレ…
2020/05/22企業ニュース
最先端光データ通信向けフォトニクスにピコサンのALDを活用
ピコサンはALDによる最先端フォトニクス開発の優れた結果を報告した。導波路増幅器やレーザーなどのフォトニクスデバイスは、現代の情報化社会を実現するキーテクノロジーである光データ通信の中心的な役割を果たしている。シリコンフォトニクスは、テクノロジーをさらに一歩進め、光学ソリューションが従来のテクノロジ…
2020/04/01企業ニュース
【COVID19対策】Web会議でのALD説明会
新型コロナウイルスCOVID19の感染予防対策として、社外ミーティングの中止・延期が相次いでおります。
PICOSUN JAPANでは、Microsoft TeamsやSkype Businessを利用したWeb会議対応により、顔を合わせないミーティング・説明会が可能です。
資料は会話中にディス…
2020/03/16その他・お知らせ
ピコサン、ALDによる3Dキャパシタの高性能化に成功
ピコサンは、ALD技術によるシリコン３Dディープトレンチマイクロキャパシタの記録的な性能を報告した。
ポータブルエレクトロニクスの高効率化・高性能化の進展とサイズの縮小により、デバイスの電力管理も課題となった。解決策としては、デバイスの主要コンポーネントをいわゆるSiPまたはSoCアーキテクチャ…
2020/01/20企業ニュース
ALDバッチ装置デモを日本にて開始
ALD装置の世界的なリーディングカンパニーであるピコサン社の日本法人が、量産工程におけるもっともポピュラーな機種であるP-300Bのデモ装置を立ち上げました。
Al2O3、TiO2、ZnO、HfO2、SiO2などのプロセスが当面予定されており、マーケットの要望に応じてZrO2、Ta2O5その他の膜…
2019/10/18その他・お知らせ
新しいプラズマALD装置をピコサンが発表
ALD（原子層堆積）薄膜コーティングソリューションのリーディングサプライヤであるピコサン社は、次世代のR＆D向けプラズマALDで得られた結果を報告した。プラズマALDはサーマルプロセスではできない材料が成膜できるが、欠点としてイオン衝撃によるサンプル表面の損傷の可能性がある。これに対するピコサンのソ…
2019/09/04製品ニュース
Picosun新型クラスタ装置Morpher
Picosun、200mmウエハ向け新型ALDプラットフォームを発表
Picosunグループの200mmウエハ向け新型ALD製品プラットフォーム「Morpher」は、MEMS、センサー、LED、レーザー、パワーエレクトロニクス、光学系、そして5Gコンポーネント向けに迅速で費用対効果の高い、大量生産を可能にする、最先端のプロセス品質、信頼性、そして機動的な敏捷性を備えて…
2019/07/22企業ニュース
Picosun、ヘルスケア事業を強化へ
Picosunグループは、ALD技術を最先端大手メーカー向け外科用インプラントへの生体活性コーティング成膜に提供すると発表した。
近年、ヘルスケア分野へのALD技術の応用が立て続けに提案されている。高齢化に伴い、身体の様々な「スペアパーツ」すなわち人工股関節、膝関節、デンタルインプラントや、心臓・…
2019/06/10企業ニュース
応力ゼロ（ストレスフリー）成膜をALDで実現
ALDに限らず成膜プロセスでは、膜内・膜の間・膜と基板の間において、種々の応力が容易に形成される。現代の微細電子デバイスは全て各種材料の極薄保護膜を表面に積層させることで作られており、これらの応力はその保護膜に対してだけではなく、その下部にある他の機能膜や構造にも有害になり得る。特に構造上、空洞や独…
2019/05/20企業ニュース
ALD膜封止によるバイオメディカルマイクロインプラントの長寿命化技術開発に成功
Picosun社はインプラント型電子デバイス生体適合封止の画期的な技術を開発した。
ワイヤレスでの給電・操作により遠隔での検知と治療を行うインプラントデバイスは、神経刺激や健康状態の測定、人工知覚など、最先端医療分野において、多くの用途が期待されている。これらの極小デバイスは時に十年超にわたり体内…
2019/05/07企業ニュース
ALD封止により電子部品の性能劣化を防止
Picosun社は、ALDによる薄膜コーティングが高信頼性エレクトロニクス保護膜として、従来よりはるかに優れた結果となったことを発表した。
PICOSUN社が開発したALDナノラミネートによる気密封止はESAとの共同研究により、プリント基板アセンブリ（PCBA）の錫ウィスカを完全にブロックすること…
2019/05/07企業ニュース
イットリアALDにより、過酷な環境下での腐食防止プロセスを開発
イットリア（酸化イットリウム、Y2O3）は非常に高硬度・高密度で機械的強度が高く、耐薬品・耐食性に優れた高融点材料である。これらの特性によりイットリアは過酷な環境で使用されるアプリケーションの保護膜に理想的とされている。一例として、各種の半導体製造装置の部品コーティングが挙げられる。Y2O3は炭素系…
2019/05/07企業ニュース