PICOSUN JAPAN株式会社

製品ニュース

Picosun社のSprinterが記録的な高品質成膜を達成
PICOSUN Sprinter ALDシステムのAl2O3プロセスは、90℃という低い成膜温度でも優れた膜厚均一性を示した。300℃での均一性は記録的なレベル(<0.2%1σ)を示し、さらに他の部分も改善し続けている。均一性はそのまま、サイクル時間が8秒に短縮されたため生産能力は2倍以上にな…
2021/07/29製品ニュース
画期的な300mmウエハ用バッチALD生産装置・PICOSUN Sprinter
ALD装置メーカーPicosun社は、300mmウエハ用の完全自動量産向け新型ALD生産モジュール「Sprinter」を発売した。半導体(メモリ、トランジスタ、コンデンサ等)、ディスプレイ、IoT用通信機器等の用途向けに、バリア、high-k等の高性能ALD膜をSprinterで成膜可能。Sprin…
2020/12/03製品ニュース
新しいプラズマALD装置をピコサンが発表
ALD(原子層堆積)薄膜コーティングソリューションのリーディングサプライヤであるピコサン社は、次世代のR&D向けプラズマALDで得られた結果を報告した。プラズマALDはサーマルプロセスではできない材料が成膜できるが、欠点としてイオン衝撃によるサンプル表面の損傷の可能性がある。これに対するピコサンのソ…
2019/09/04製品ニュース