ALDの量産に必要な全てがこれで分かる！装置・原料・受託加工の各分野におけるリーディングカンパニー各社がとっておきの情報を披露！
※約100名のご参加をいただき、大好評にて終了いたしました。 次回開催ご希望の方は下記お問い合わせフォームからご連絡ください。※ ALD （Atomic Layer Deposition：原子層堆積）は、PVD・CVD等の成膜技術と比較し、高アスペクト比表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性が高いなどの特長があります。 今回、ALDを量産向けにご検討のお客様へ、装置・原料・受託加工各社がそれぞれの切り口から、ALD技術の概要や量産工程に必要な注意点などをご説明いたします。 【参画各社紹介】 〇PICOSUN JAPAN株式会社：ALDの技術開発において40年以上の経験を持つALD装置メーカー（本社フィンランド）。国内外で多数のR&D・量産装置導入実績あり。 〇株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン：住友精密工業とCollins Aerospace社との合弁会社。MEMSファンドリとしてALD他種々のSi加工を受託。 〇株式会社トリケミカル研究所：東証一部上場の化学メーカー。ALDプリカーサ等半導体プロセス向け各種化学品の開発・製造・販売を行っている。
※約100名のご参加をいただき、大好評にて終了いたしました。 次回開催ご希望の方は下記お問い合わせフォームからご連絡ください。※ ALD （Atomic Layer Deposition：原子層堆積）は、PVD・CVD等の成膜技術と比較し、高アスペクト比表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性が高いなどの特長があります。 今回、ALDを量産向けにご検討のお客様へ、装置・原料・受託加工各社がそれぞれの切り口から、ALD技術の概要や量産工程に必要な注意点などをご説明いたします。 【参画各社紹介】 〇PICOSUN JAPAN株式会社：ALDの技術開発において40年以上の経験を持つALD装置メーカー（本社フィンランド）。国内外で多数のR&D・量産装置導入実績あり。 〇株式会社シリコンセンシングシステムズジャパン：住友精密工業とCollins Aerospace社との合弁会社。MEMSファンドリとしてALD他種々のSi加工を受託。 〇株式会社トリケミカル研究所：東証一部上場の化学メーカー。ALDプリカーサ等半導体プロセス向け各種化学品の開発・製造・販売を行っている。