PICOSUN JAPAN株式会社

2020/12/03
画期的な300mmウエハ用バッチALD生産装置・PICOSUN Sprinter

製品ニュース   掲載開始日: 2020/12/03

ALD装置メーカーPicosun社は、300mmウエハ用の完全自動量産向け新型ALD生産モジュール「Sprinter」を発売した。半導体(メモリ、トランジスタ、コンデンサ等)、ディスプレイ、IoT用通信機器等の用途向けに、バリア、high-k等の高性能ALD膜をSprinterで成膜可能。Sprinterでは枚葉成膜の品質と均一性が高速バッチ処理にアップスケールされ、また従来の縦型炉リアクタと比較してより低い熱収支でより高い膜質が得られるため、温度ストレスに弱いデバイスにも適している。Sprinterは、超高速度成膜と縦型炉よりも小さいバッチサイズを組み合わせ、スループットを犠牲にすることなく、生産の柔軟性を高め、リスクを最小限に抑えることができる。リアクションチャンバは画期的な、完全に層流のプリカーサフローのため、寄生CVD成長のない完全なALD成膜が実現され、メンテナンスが最小限に抑えられる。
既存製造ラインへの統合も可能で、モジュールの販売は2021年1月に開始される。複数のALDモジュール、真空ハンドリングロボットおよびEFEMを備えたクラスター装置としての販売は2021年春後半からになる見通し。

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