PICOSUN JAPAN株式会社

2021/06/03
プラズマエッチング耐食バリア、PicoArmourの発表

企業ニュース   掲載開始日: 2021/06/03

ピコサンは、プラズマエッチングに対するALD耐食保護コーティングソリューション、PicoArmourの特許権を申請中であると発表した。PicoArmourの使用により、今日一般的に使用されているコーティング比較して、より効率的にプラズマバリアを実現できる。
ウエハ製造プロセスには、プラズマエッチングが必要ないくつかのステップが含まれる。プラズマエッチングによる装置の損傷を軽減するため、PVDや溶射によるY2O3の耐食コーティングなどが従来用いられてきたが、複雑形状に付き回りよく均一に成膜することは困難だった。ALD成膜では付き回り性や均一性は極めて優れているものの、コーティング速度が問題になる。しかしPicoArmourはY2O3 のみを成膜する場合と比較して、最大 5 倍速いため、より費用対効果の高い方法でコーティングが可能。またAl2O3と比較すると、コーティングの耐久性は 5 倍になる。また、装置のメンテナンス間隔を延ばすことができるため、製造コストの大幅な削減にもつながる。

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