製品・サービス

Picosun社ALD成膜装置：Rシリーズの製品のご紹介です。特にハイエンド製品向けの研究開発に適した機種となっております。

Picosun社ALD成膜装置：Pシリーズの製品のご紹介となります。特に量産向けのスタンドアロン装置のラインナップです。

生産性拡張のためのクラスタシステムです。ALDモジュール、ウエハハンドリングロボット、EFEMステーション等から構成されます。

ALDを量産向けプロセスとして採用するには、製品ラインナップだけでなく、デモ成膜や他社実績、導入後のアフターサポート体制など様々な情報が必要になります。Picosunでは、お客様に安心して採用いただけるよう、導入前後を手厚くフォローするサービスを諸々取り揃えております。

PicosunはALD技術開発当初からパイオニアとしての歴史を持ち、ALD装置専業メーカー、また研究開発や量産適用ソリューションのプロバイダとして非常に幅広い知見があります。公開できる情報はごく一部ですが、お問い合わせいただければより詳細な文献情報や、もしくはプロセスご提案という形でのお手伝いができるかもしれません。