300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産性の大幅な向上が可能！ 最終更新日： 2023/04/25 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
『ALD（原子層堆積）装置』※アプリケーションノート進呈量産用からR&D用まで高性能なALD装置をラインアップ。デモ・装置見学OK 最終更新日： 2020/12/24 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
電子デバイス向けソリューション具体例：パワーデバイスピコサンの優れた装置及びプロセス設計により、膜質の良い半導体向けのALD成膜を実現 最終更新日： 2022/12/09 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
バリア膜向けソリューション具体例・インプラントデバイス耐腐食性・バリア性の高いALD膜により、人体内環境でも長寿命の封止膜を実現！ 最終更新日： 2022/12/09 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
ALD装置（原子層堆積装置）『P-1000』0.01nmの厚みでコーティング可能！機械部品や医療用インプラントなど、様々な3Dオブジェクトのバッチコーティングに！ 最終更新日： 2020/09/17 お問い合わせ/資料請求PDFダウンロード
