PICOSUN JAPAN株式会社

ALD装置(原子層堆積装置) P-1000

最終更新日: 2018/05/31
大型部品の量産等に最適!

P1000システムは、機械部品・ガラス/メタルシート、コイン、ジュエリー、医療用インプラント等、各種の3Dオブジェクトのバッチコーティングに適した設計となっています。
主なアプリケーションとしては、各種デバイスのパッシベーション、バリア層などです。
本システムはイノベーションを提供するアジャイルな設計であり、高品質のALD成膜を実現します。優れた均一性を備え、生産性を最大限に高め、システムのダウンタイムを最小限に抑えることで、確実な生産性を提供するとともに所有コストを抑えることができます。
信頼性が高く、また高速でメンテナンスが容易なP1000システムは、産業ALDを代表する最先端の技術といえるでしょう。

基本情報

■標準的な基板サイズと種類
・小型・大型の3Dアイテム(例:機械部品、ガラス/メタルシート、コイン、ジュエリー、医療用インプラントなど)
■処理温度及び容量
・50~400℃
■標準工程
・Al2O3、ZnO、TiO2など
■基板ローディング
・装着補助機器(フォークリフト・カートなど)によるマニュアルローディング
■プリカーサー
・液体、固体、気体、オゾン
・レベルセンサー、洗浄および補充サービス
・6か所の独立したインレットから最大10種のソース

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 機械部品、ガラス/メタルシート、コイン、ジュエリー、医療用インプラント

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