PICOSUN JAPAN株式会社

ALD装置(原子層堆積装置)『P-1000』

最終更新日: 2020/09/17
0.01nmの厚みでコーティング可能!機械部品や医療用インプラントなど、様々な3Dオブジェクトのバッチコーティングに!

『P-1000』は、機械部品、ガラスまたはメタルシート、コイン、ジュエリー、エッチャー装置部品、または医療用インプラントなど、さまざまな3Dオブジェクトのバッチコーティングに適した装置です。

主なアプリケーションには、デバイスの性能や寿命を大幅に向上させるための各種パッシベーションやバリア層などがあります。
またドライエッチングプロセス環境からチャンバーやシャワーヘッド・ノズルなどの部品を保護するためのコーティングも可能です。

高アスペクト比ワーク表面へも均一に高性能のALD成膜を実現できます。

【特長】
■3Dオブジェクトや大型部品のバッチコーティング好適
■高品質のALD成膜を実現する革新的で敏捷性の高い設計
■優れた均一性を備え、生産性を最大限に高める
■システムのダウンタイムを最小限に抑え、所有にかかる費用を抑える
■信頼性が高く、また高速でメンテナンスが容易

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【その他の特長】
■標準的な基板サイズと種類
 ・小型・大型の3Dアイテム(例:機械・装置部品、ガラスまたはメタルシート、コイン、ジュエリー、医療用 インプラント)
■処理温度:50~400℃
■成膜種類例:アルミナ(AI2O3)、イットリア(Y2O3)、SiO2等
■基板の装着
 ・装着補助機器による手動装着(例:フォークリフト・カート)
■プリカーサー
 ・液体、固体、気体、オゾン
 ・レベルセンサー、洗浄および補充
 ・6か所に分かれた注入口から最大10種のソース

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価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■機械部品、ガラスまたはメタルシート、コイン、ジュエリー、エッチング装置の部品保護、または医療用インプラントなど、さまざまな3Dオブジェクトのバッチコーティングに

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