PICOSUN JAPAN 株式会社は、ALDの技術開発において40年以上の経験を持つ、ALD装置の専業メーカー・フィンランド Picosun Oy社の日本法人で、日本国内外で多数のR&D及び量産装置の導入実績がございます。
ALD (Atomic Layer Deposition:原子層堆積)は、高アスペクト比形状物表面への付き回りに優れ、膜厚が1原子層レベルで制御でき、バリア性が高いなどの特長があります。
本セミナーでは、ALDの成膜原理から膜特性、アプリケーションなどの基本的な情報を全て網羅してご紹介します。
対面イベントが制限されるwithコロナ時代の新しい情報収集手段として是非ご活用ください。
また、実施済みの以下ウェビナー内容についても、再実施などのご希望ございましたらお寄せください。
2020年11月10日実施:『ALD量産完全マスター講座』
2021年2月5日実施:『研究開発・材料探索のための成膜技術』
基本情報
〇開催方法:Microsoft TeamsによるWebセミナー
〇受講料:無料
〇講師:八尋大輔(PICOSUN JAPAN株式会社)
〇日時:毎週月・金開催(時間帯は週により変わりますので、お問い合わせください)
〇内容
1)PICOSUN会社紹介
2)ALDの原理:成膜プロセス、注意事項(欠点・短所)、GPC(成膜レート)、サイクル時間など
3)ALD膜の特性:バリア性、電気特性、応力等
4)アプリケーション紹介:半導体、各種電子・光学デバイス、装置部品、バイオメディカル等
5)装置ラインナップ:枚葉R&D装置、バッチ・クラスタ量産装置、大型チャンバ装置等
6)質疑応答
〇所要時間:45分程度+質疑応答
〇申込方法:下記お問い合わせフォームより参加者情報記載の上お申し込み下さい。
<参加者情報>
1)社名:必須
2)参加者名(複数も可):必須
3)電話番号・メールアドレス:必須
4)ご希望日時:必須
5)興味のある内容:任意
6)ご検討段階(情報収集/試作検討/ベンダー選定):任意
※弊社と競合関係にある場合、ご参加をお断りする場合もございます。予めご了承ください。
価格帯 | お問い合わせください |
---|---|
納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | ※詳細はお問い合わせください。 |
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
PICOSUN JAPAN株式会社