最終更新日:
2020/12/24
量産用からR&D用まで高性能なALD装置をラインアップ。デモ・装置見学OK
当社ではエレクトロニクスをはじめ幅広い分野で使用される
『ALD（原子層堆積）装置』を提供しています。
特に量産装置に強みがあり、バッチ装置の「P-300B」やクラスタ装置「Morpher」、
大型装置「P-1000」など高性能なALD装置をラインアップ。
また、デモ成膜や装置見学のご要望を受付中です。
お気軽にお問い合わせください。
【製品ラインアップ】
・オープンエアバッチ装置「P-300B」
・ロードロック付きバッチ装置「P-300BV」
・クラスタ装置「Morpher」
・大型基板用装置「P-1000」
・R&D用標準機「R-200 Standard」…など
※製品について詳しくはカタログをご覧ください。
ALDの活用例やメリットがわかるアプリケーションノートも進呈中。
「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。
基本情報
【無料Webセミナーについて】
当社では、ALDに馴染みのない方に向けた「Webセミナー」を定期的に開催しております。
ご興味のある方はお問い合わせフォームより、お気軽にご連絡ください。
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