PICOSUN JAPAN株式会社

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

最終更新日: 2021/11/24
枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で!クラスタシステムにより生産性の大幅な向上が可能!

PICOSUN Sprinter ALDシステムは半導体、ディスプレイ、IoT等の業界における300 mm製造ラインでの画期的なバッチALD生産システムです。 SEMI S2 / S8認定のPICOSUN Sprinterは、枚葉成膜の品質と均一性を、高速処理、高スループット、高信頼性と組み合わせています。処理時間が短いため、Sprinterの熱負荷は従来のALDバッチ装置よりも低くなっています。これにより、Sprinterは破損しやすい基板材料やデバイスにも理想的です。
PICOSUN Sprinter ALDシステムは、優れた膜質、短いサイクルタイム、完全自動化により、ALDの大量生産に革命をもたらします。プリカーサフローを完全に層流にすることで、不要にCVD成長させることのない完全なALD成膜を保証し、システムメンテナンスの必要性を最小限に抑えます。プリカーサの供給が最適化されているため、材料の無駄がありません。

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基本情報

標準のクラスター構成は、ALDモジュール2基、予熱および冷却チャンバ、ウエハハンドリングロボット、およびFOUPとの間でウエハをロード/アンロードするEFEMステーションです。既存の製造ラインまたはクラスターに統合できるスタンドアロンモジュールとして購入することもできます。当社のオペレーティングシステムソフトウェアは、直感的でユーザーフレンドリーなHMI一つを介してクラスター全体を制御し、SECS-II / GEMプロトコルを介してシステムとお客様のファクトリーオートメーション間のスムーズな接続を保証します。 SEMI S2 / S8認定は、システムが業界の最も厳しい規格と互換性があることを保証します。

完全に分離されたプリカーサ供給配管と注入口を備えた特許取得済みのデュアルチャンバ、ホットウォールリアクタ設計により、優れた歩留まり、低パーティクルレベル、優れた電気特性・光学特性を備えた最高品質のALD膜を作成します。コンパクトで人間工学に基づいた設計により、メンテナンスを簡単かつ迅速に行えるため、システムのダウンタイムを最小限に抑え、市場での所有コストを最小限に抑えることができます。

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型番・ブランド名 Sprinter
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