日本ピラー工業株式会社

【ピラースーパージョイント Type PSJ】日本ピラー工業のクリーン&長寿命なロータリージョイント(回転継手)です。

最終更新日: 2022/06/13

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:2022/06/13

CMP装置、ウェハ研削装置、液晶製造装置等クリーン性が要求される 、多様な機器に適用できる長寿命なロータリージョイント!
日本ピラー工業の『ピラースーパージョイント』は、
長年培ったメカニカルシールの固有技術を応用した、
クリーンかつ長寿命なロータリージョイント(回転継手)です。

【特長】
 ・シール端面(摺動部)には、耐薬品性・耐クリーン性に優れる
  SiC(炭化ケイ素)を使用しています。
 ・接液部流路は、金属汚染に配慮したPEEKで構成できます。
 ・正圧から負圧まで、広い圧力範囲に使用可能です。
 ・禁油処理は、もとより「洗浄⇒組立⇒包装」の工程を一貫して
  クリーンルーム内で実施しております。

【性能】
 ・シール流体圧力:真空~1MPaG
 ・回転速度:0~1,000rpm
       (特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます)
 ・適用流体:加圧空気・真空・超純水・CMPスラリなど

●ピラースーパージョイント(R)およびPILLAR SUPER JOINT(R)は、
 日本ピラー工業(株)の登録商標です。

※ダウンロードカタログは、盗用防止のため
 編集ロック+低解像度化処理をしております。
(ご要望いただければ、プリント版の送付もいたします)

関連情報

長寿命&クリーンな回転継手【ピラースーパージョイント】
長寿命&クリーンな回転継手【ピラースーパージョイント】 製品画像

【性能】
 ・シール流体圧力:F.V.~1MPaG
 ・回転速度:0~1,000rpm
       (特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます)
 ・適用流体:加圧空気,真空,超純水,CMPスラリ液 など


※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、
 日本ピラー工業の登録商標です。

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