日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）は、メカニカルシールで蓄積した技術生かし、長寿命とクリーン性を実現いたしました。
日本ピラー工業のロータリージョイント（回転継手）
『ピラースーパージョイント（R)』は、弊社がメカニカルシールで得た
経験と技術を応用した製品です。
【特長】
・接液部流路は、金属汚染に配慮しＰＥＥＫ材で構成しております。
・シール端面（摺動面）は、耐薬品性・耐スラリ性に優れるＳｉＣ（炭化ケイ素）を採用。
・負圧から正圧まで、広範囲に使用可能です。
・禁油処理は、もちろん、「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。
※このページでは、
シングルポートタイプを一例として紹介しております。
多ポートタイプ・大流量タイプなど
ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。
ぜひ、一度ご相談ください。
【性能】
・シール流体圧力：F.V.～1MPaG
・回転速度：0～1,000rpm
（特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます）
・適用流体：加圧空気，真空，超純水，CMPスラリ液 など
※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、
日本ピラー工業の登録商標です。
・シール流体圧力：F.V.～1MPaG
・回転速度：0～1,000rpm
（特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます）
・適用流体：加圧空気，真空，超純水，CMPスラリ液 など
※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、
日本ピラー工業の登録商標です。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | 日本ピラー工業（株）のロータリージョイント（回転継手）【ピラースーパージョイント/PILLAR SUPER JOINT】 |
| 用途／実績例 |
CMP装置・ウェハ研削装置・液晶製造装置などに使用いただき ・冷却水、ウェハ加圧用の空気供給 ・ウェハ吸着用の真空供給 ・スパウト処理用の超純水、スラリ液の供給 ・ターンテーブルへの冷却水供給 等 超クリーンサービスに多くの実績がございます。 |
関連ダウンロード
【ピラースーパージョイント】長寿命＆クリーンな回転継手
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
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