日本ピラー工業株式会社

長寿命&クリーンな回転継手【ピラースーパージョイント】

最終更新日: 2022/06/08

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日本ピラー工業のロータリージョイント(回転継手)は、メカニカルシールで蓄積した技術生かし、長寿命とクリーン性を実現いたしました。

日本ピラー工業のロータリージョイント(回転継手)
『ピラースーパージョイント(R)』は、弊社がメカニカルシールで得た
経験と技術を応用した製品です。

【特長】
 ・接液部流路は、金属汚染に配慮しPEEK材で構成しております。
 ・シール端面(摺動面)は、耐薬品性・耐スラリ性に優れるSiC(炭化ケイ素)を採用。
 ・負圧から正圧まで、広範囲に使用可能です。
 ・禁油処理は、もちろん「洗浄⇒組立⇒包装』を一貫して、クリーンルーム内で行っております。

※本ページでは、
 シングルポートタイプを一例として紹介しております。
 多ポートタイプ・大流量タイプなど
 ご使用条件に沿ったカスタム設計も可能です。
 ぜひ、一度ご相談ください。

【性能】
 ・シール流体圧力:F.V.~1MPaG
 ・回転速度:0~1,000rpm
       (特殊設計で最大3,000rpmまで対応できます)
 ・適用流体:加圧空気,真空,超純水,CMPスラリ液 など


※ピラースーパージョイント(R)とPILLAR SUPER JOINT(R)は、
 日本ピラー工業の登録商標です。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 日本ピラー工業(株)のロータリージョイント(回転継手)【ピラースーパージョイント/PILLAR SUPER JOINT】
用途/実績例 CMP装置・ウェハ研削装置・液晶製造装置などに使用いただき
 ・冷却水、ウェハ加圧用の空気供給
 ・ウェハ吸着用の真空供給
 ・スパウト処理用の超純水、スラリ液の供給
 ・ターンテーブルへの冷却水供給 等
超クリーンサービスに多くの実績がございます。

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長寿命&クリーンな回転継手【ピラースーパージョイント】

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