最終更新日:
2013/03/14
多孔セラミックスの制作事例をご紹介します!
【用途】
・半導体製造装置部品
→フィルタ
→各種ノズル
→整流板
→流量制御
→マイクロリアクター
基本情報
【用途】
・半導体製造装置部品
→フィルタ
→各種ノズル
→整流板
→流量制御
→マイクロリアクター
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用途/実績例 | ・半導体製造装置部品 (フィルタ、各種ノズル、整流板、流量制御、マイクロリアクター) |