D250L
企業ニュース
掲載開始日:
2022-11-14 00:00:00.0
未来の半導体・成膜・エッチング技術の可能性を探求する拠点である、プラズマ・サーモ・ヨーロッパ（Corial社）社は、
The Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP) （フランス）と新たな取り組みを開始いたしました。
a-SiCによる埋め込み型デバイス（皮質電極等）のコーティングに関しての開発です。
近年、アモルファスシリコンカーバイド（a-SiC）は、耐腐食性に優れた堅牢な材料であり、
埋め込み型デバイスの代替封止層として注目を浴びております。
更に、アモルファスシリコンカーバイド（a-SiC）は、電気絶縁性に優れ、ヤング率が大きいため、
座屈耐性を高めた埋め込みデバイスの作製を可能にします。
今後の開発進捗状況に関しては、2023年アカデミックな発表の場でご紹介する予定です。
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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社