※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最終更新日:
2018-08-08 16:41:23.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
半導体製造装置、医用電気機器など、装置の安全性のサポートはおまかせください
キューセスは、1992年3月に創設された第三者検査機関です。
当社では、装置の安全性に関わるトータルサポートを行っています。
製品審査・レポート作成・登録申請代行をはじめ、情報提供や
安全ラベル/マニュアル作成にいたるまで、豊富な知識経験と
リーズナブルなコストで、満足度の高いサービスを提供しています。
協力会社であるQPSの支援と、パートナー試験所であるJELにより、
安全評価とEMC試験のワンストップが可能です。
【主な審査対応製品】
■半導体製造装置
■医用電気機器
■産業用装置
■計測制御機器
■IT機器 など
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関連情報
【SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity)試験とは?】
SEMI F47/F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、
半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が
突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシミュレートし、
その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。
エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、
自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。
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SEMI F47/F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、
半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が
突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシミュレートし、
その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。
エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、
自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。
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