QSESの安全評価について「F47/F42評価サービス」は、装置納入時の必須項目となりつつある『電圧降下(F47/F42)試験』に、どこよりも早く対応した試験評価サービスです。
半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が突然の電圧降下(半サイクルから数秒)を起こした状態をシュミレートし、その場合の被試験装置の耐性を評価する試験を行います。
エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てが対象で、電源容量の大きい装置にも対応しています。
さらに、対策からレポート作成までフルサポートいたします。
【特長】
■AC供給電源が突然の電圧降下を起こした状態をシュミレートして装置の耐性を評価
■エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに対応
■測定機器は単相/三相問わず、AC200V 100A/相までの装置に対応
■試験評価は、工場など任意の場所に測定機器を持ち込んで行うことも可能
■対策からレポート作成までフルサポート
基本情報
【特長】
■AC供給電源が突然の電圧降下を起こした状態をシュミレートして装置の耐性を評価
■エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、自動検査装置等のプロセス装置全てに対応
■測定機器は単相/三相問わず、AC200V 100A/相までの装置に対応
■試験評価は、工場など任意の場所に測定機器を持ち込んで行うことも可能
■対策からレポート作成までフルサポート
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株式会社キューセス