最終更新日:
2018-12-13 15:47:56.0
是正対策や対策部品紹介までコンサルティング、試験が適合するまでフルサポート
QSESでは、近年、大手半導体メーカーへ装置を納入する時の必須項目と
なりつつある『F47/F42 (Voltage sag immunity-電圧降下)試験』を、
いち早く対応し試験評価サービスを行っております。
「SEMI F47」はSEMI規格の中でEMCについて定められた規格で、中でも
イミュニティ試験の項目である電圧ディップ・短時間停電について規定。
EMC法規制がない地域でも、エンドユーザの要求によっては、「SEMI F47」の
合格レポートの提出が要求される場合があります。
【特長】
■SEMI F42：半導体プロセス装置の電圧サグに対する感受率の試験方法
■SEMI F47：半導体 プロセス装置の電圧サグイミュニティのための仕様
■電源容量の大きい装置にも対応
■対策からレポート作成までをフルサポート
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【SEMI F47/F42 (Voltage sag immunity)試験とは？】
SEMI F47／F42は、半導体プロセス装置向けの規格の一つであり、
半導体工場内において設備の故障や大きな負荷の変動により、AC供給電源が
突然の電圧降下（半サイクルから数秒）を起こした状態をシミュレートし、
その場合の被試験装置の耐性を評価する試験です。
エッチャー、CVD、CMP、洗浄機、排ガス処理装置、ステッパー、イオン注入装置、
自動検査装置等のプロセス装置全てに適用されます。
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