最終更新日:
2018-12-13 15:47:56.0
SEMI S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を実施！
「SEMI S6」は、排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドラインです。
「SEMI S2」には化学・排気換気・環境の規定がありますが、可燃性や
毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は、「SEMI S6」の評価が
必要になる場合があります。
毒性の気体が発生する可能性がある場合、通常時・メンテナンス時・
単一故障時を想定して、排気換気により人体暴露が起きていないかを
模擬試験で確認します。
可燃性の気体が発生する可能性がある場合、電装品回りに気体が
滞留しないかを模擬試験で確認します。
QSESでは、S6に関するトレーサーガス試験、CIH、非引火性試験を
行っております。
【特長】
■排気換気に関する環境・健康・安全のためのガイドライン
■可燃性や毒性の気体・液体をプロセスで使用する装置は
SEMI S6の評価が必要になる場合がある
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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