最終更新日:
2018-12-13 15:47:56.0
安全インタロックなど、環境・健康・安全に関するガイドラインを一部ご紹介
『SEMI S2』には、半導体製造に使用される装置に対する作業環境、衛生及び
安全について最低限考慮し、行わなければならない項目が述べられています。
その要求事項は、化学、放射、電気、物理、機械、環境、火災、地震、
排気、人間工学、さらに、品質、文書、マニュアルなどに及んでいます。
「安全インタロックが作動すると装置または装置の関係部分を自動的に
安全な状態にするべき。(11.3)」
⇒ 例）オペレーション中にドアを開けると装置が通電状態でなくなる。
また、ドアを閉じないと通電状態とならない
「安全インタロックシステムは耐欠陥性があり、(以下略)(11.5)」
⇒ 耐欠陥性とは合理的に予見可能な単一故障の結果、安全側にはたらくことである。
以上はSEMI S2のほんの一例です。
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