最終更新日:
2018-12-13 15:47:56.0
半導体製造装置に対する火災リスクアセスメントと軽減のための安全ガイドライン
『SEMI S14』は、装置及び製品に対する火災および燃焼副生成物のリスクを
アセスメント、軽減する上で助けとなる検討事項を提供します。
資産の保護に適用し、人間の保護には適用しません。
「SEMI S10」リスクアセスメントにおいて、装置の火災リスクアセスメントは
「SEMI S14」に譲っています。一方、リスクの見積りの手法は、SEMI S10の
方法を用いることが推奨されています。
大前提として、火災の3要素として燃料、酸化剤、発火源をあげています。
これら3要素のうち1つ以上を除去すれば、火災リスクは除去できます。
燃料、酸化剤、発火源について、リスクアセスメントを実施する上で
考慮すべき事項につき詳細に記述をしています。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連カタログ
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社キューセス
