■ 搭載部品サイズ:□0.2~□72mm
■ 搭載精度(3σ):X,Y±10um、Θ±0.2°以下
■ UV接着剤の固定:搭載時UV仮固定+後工程で一括UV固定
※UV仮固定のサイズは、Max□20mm
■ 搭載ヘッド加熱:Max 350℃
■ ステージ温度:Max 150℃
■ 部品供給形態:8インチウエハ、12インチウエハ、トレイ
■ 樹脂塗布:スタンピング、ディスペンス
■ フリップユニット対応可能
■ 搭載精度(3σ):X,Y±10um、Θ±0.2°以下
■ UV接着剤の固定:搭載時UV仮固定+後工程で一括UV固定
※UV仮固定のサイズは、Max□20mm
■ 搭載ヘッド加熱:Max 350℃
■ ステージ温度:Max 150℃
■ 部品供給形態:8インチウエハ、12インチウエハ、トレイ
■ 樹脂塗布:スタンピング、ディスペンス
■ フリップユニット対応可能